Напыления МЭШ-60

Базовой комплектацией установки являются изделия фирм Omron (Япония) и Camozzi (Италия). Все основные системы установки оснащены контроллерами, позволяющими при подключении компьютера произвести автоматизацию процесса.

Основные технические характеристики установки МЭШ-60:

- размер носителей для обрабатываемых изделий 90×400 мм;

- количество носителей на карусели – 20 шт;

- длительность откачки/технологического цикла – 20/ от 30 мин.;

- управление циклом откачки – полуавтоматическое;

- электропитание 3×380 В/50 Гц;

- расход воды (давление 4–6 атм.), (холодная/горячая) – 1/0,2 м³/ч;

- габаритные размеры 2250×3800×2150 мм.

5. Установка вакуумного напыления МЭШ-70. Установка вакуумного напыления МЭШ-70 (рис. 4.58) состоит из рабочей камеры с передней дверью, рамы, откачной и газовой системы и шкафов управления и питания. В рабочей камере расположена карусель с вертикальной осью вращения и нижним приводом. Изделия закрепляются на легкосъемных носителях. Снаружи камеры и двери расположены 6 (шесть) унифицированных фланцев, на которых смонтированы 4 (четыре) магнетрона и 2 (два) пленарных дуговых испарителя. Нагреватель, расположенный в центре камеры, через верхний ввод нагревает изделия до 400ºС. По желанию заказчика может оснащаться ионным источником с блоком питания до 6 кВт (опция). На установке МЭШ-70 можно наносить многослойные наноструктуированные покрытия с высокой плотностью и заданного состава. Все основные системы управления оснащены контроллерами, что позволяет проводить автоматизацию процессов напыления.
Компьютерная система управления устраняет возможность неправильных действий оператора и отображает текущее состояние всех систем.

Рис. 4.58. Установка вакуумного напыления МЭШ-70: