|
|||||||
АвтоАвтоматизацияАрхитектураАстрономияАудитБиологияБухгалтерияВоенное делоГенетикаГеографияГеологияГосударствоДомДругоеЖурналистика и СМИИзобретательствоИностранные языкиИнформатикаИскусствоИсторияКомпьютерыКулинарияКультураЛексикологияЛитератураЛогикаМаркетингМатематикаМашиностроениеМедицинаМенеджментМеталлы и СваркаМеханикаМузыкаНаселениеОбразованиеОхрана безопасности жизниОхрана ТрудаПедагогикаПолитикаПравоПриборостроениеПрограммированиеПроизводствоПромышленностьПсихологияРадиоРегилияСвязьСоциологияСпортСтандартизацияСтроительствоТехнологииТорговляТуризмФизикаФизиологияФилософияФинансыХимияХозяйствоЦеннообразованиеЧерчениеЭкологияЭконометрикаЭкономикаЭлектроникаЮриспунденкция |
Короткі теоретичні відомості. Параметри напівпровідникових приладів та мікросхем суттєво залежать не тільки від чистоти використовуваних монокристалівПараметри напівпровідникових приладів та мікросхем суттєво залежать не тільки від чистоти використовуваних монокристалів, а й від ступеню дефектності їх кристалічної структури. Тому всі монокристали після вирощування проходять обов′язковий контроль їх якості. Для контролю структурних дефектів в монокристалах кремнію в умовах виробництва використовуються метод вибіркового хімічного травлення в поєднанні з оптичною мікроскопією. Завдяки доступності, простоті одержання та швидкій обробці результатів ці методи широко використовуються для контролю структурних та технологічних дефектів монокристалів і пластин напівпровідників на різних технологічних етапах виготовлення мікросхем та підкладок для наноструктур. Вирощений монокристал розрізають в тому місці, де хочуть виявити структуру, та ретельно вирівнюють механічною обробкою: шліфуванням та поліруванням виготовляють пласку поверхню розрізу. Підготовлену в такий спосіб поверхню називають шліфом.Далі шліф травлять. При контролі на виробництві монокристалічного кремнію використовуються селективний травник складу:
HF(50%): CrO3 (водний розчин) : H2O = 5,5: 1: 3,5.
Хромовий ангідрид ( інші назви - оксидхромувалентності VI, трьохокис хрому) CrO3 - це темно-червоні з фіолетовим відтінком кристали у вигляді пластин або голок. Добре розчинний у воді. Гігроскопичний, тобто поглинає водяну пару. У відкритому посуді або на повітрі розпливається. Плавиться при 196 °C, при атмосферному тиску розкладається нижче температури кипіння. Густина 2,8 г/см³. Розчинність у воді при температурі 15 °C 166 г на 100 г води, а при температурі 100 °C -199 г на100 г. При нагріванні вище 250 °C розкладається. Хромовий ангідрид дуже отруйний. При влученні на шкіру він викликає найсильніші роздратування, екземи і дерматити. Може спровокувати розвиток рака шкіри. Досить небезпечне вдихання пари хромового ангідриду. Робота з ним вимагає застосування спецодягу й засобів індивідуального захисту. Хромовий ангідрид хімічно дуже активна речовина Зберігати потрібно з обережністю, тому що при контакті з ним ацетон і багато інших органічних речовин вибухають або самозаймаються. Для зберігання його застосовується скляний або пластиковий герметичний посуд, а також виключення контакту з органічними речовинами. При хімічній обробці кремнію застосовується в складі селективних травників для виявлення структурних дефектів у монокристалах кремнію. При цьому спочатку розчиняють 250 г CrO3 в 1 л води. У результаті утворюється хромова кислота:
CrO3 + H2O → H2CrO4.
Поверхня монокристала з досконалою структурою після травлення виглядає цілком однорідною. Якщо монокристал містить структурні дефекти, то в точках їх виходу на поверхню швидкість травління значно вища, ніж досконалої кристалічної решітки. Тому на поверхні пластини утворюються фігури травлення – ямки (рис. 7.1), канавки, горбики. В умовах виробництва густину різних структурних дефектів в монокристалічному кремнії контролюють за кількістю ямок травлення.
а
б а – лінійні дефекти – дислокації; б - мікродефекти Рисунок 7.1 – Ямки травлення на структурних дефектах на поверхні монокристалічної пластини кремнію
Поиск по сайту: |
Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав. Студалл.Орг (0.003 сек.) |