Травители и методы травления

Эффективность процесса травления определяется реакциями диф­фузии, окисления и восстановле­ния, протекающими на границе фаз металл — раствор и в растворе. Ход этих реакций можно регулиро­вать поддержанием заданной температуры и состава травителя. Кроме того, необходимо принимать во внимание сложность рисунка ПП, толщину травящегося слоя, тип защитного покрытия (резистивный слой).

Рис. 23 Подтравливание металли­ческих слоев.   1 - травитель; 2 - резист, 3 - диэлек­трик; 4 - металлический слой; 5м - толщина слоя ме­талла; Н- боковое подтравливание; f - фактор травления (f= Sм / Н)

Большое влияние на качество оказывает скорость травления. Обыч­но для травления металлических слоев она составляет 10—50 мкм/мин. Так как трави­тель со временем истощается, то необходимо для за­гото­вок, время пребывания которых в растворе посто­янно, устанавливать минимальную скорость травления. Это приводит к увеличению времени травления и сильному боковому подтравливанию. Необходимое посто­янство состава травителя, а значит, малое время травления достига­ется применением устано­вок с непрерывной регенерацией раствора Качество травления характеризуется степенью бо­кового подтравливания слоя, покрытого резистом. Она возникает потому, что травитель после удаления металла с незащищенных мест действует парал­лельно поверхности заготовки. Степень бокового подтравливания определяется фактором травления, который равен отношению глу­бины травления в направлении, перпендикулярном поверхности заготовки к глубине бокового

травле­ния. При изготовлении ПП субтрактивным методом фактор травления достигает 2—4 (рис. 23).

Подтравливание можно учесть при изготовле-нии оригиналов за­щитных слоев. Кроме того, применяют образующиеся на травящемся металле ламинарные слои, сдерживающие действие тра-вителя.

Для травления меди и ее сплавов применяют травители на основе хлорида железа (III), пер­сульфата аммония, хлорида меди (II), хро­мовойкислоты, перекиси водорода и щелочного рас­твора хлорита нат­рия. При выборе того или иного травителя, наряду с имеющимися в на­личии ма­териалами, необходимо учитывать объем и техническую осна­щенность производства, экономич­ность и проблему сточных вод, воз­можности регенерации и извлечения меди.

Поиск по сайту: