АвтоАвтоматизацияАрхитектураАстрономияАудитБиологияБухгалтерияВоенное делоГенетикаГеографияГеологияГосударствоДомДругоеЖурналистика и СМИИзобретательствоИностранные языкиИнформатикаИскусствоИсторияКомпьютерыКулинарияКультураЛексикологияЛитератураЛогикаМаркетингМатематикаМашиностроениеМедицинаМенеджментМеталлы и СваркаМеханикаМузыкаНаселениеОбразованиеОхрана безопасности жизниОхрана ТрудаПедагогикаПолитикаПравоПриборостроениеПрограммированиеПроизводствоПромышленностьПсихологияРадиоРегилияСвязьСоциологияСпортСтандартизацияСтроительствоТехнологииТорговляТуризмФизикаФизиологияФилософияФинансыХимияХозяйствоЦеннообразованиеЧерчениеЭкологияЭконометрикаЭкономикаЭлектроникаЮриспунденкция

ПРИЛОЖЕНИЕ. Таблица 1 - Составы травителей для химического полирования подложек кремния и германия

Читайте также:
  1. В. Практическое приложение теории: валютный рынок
  2. Все полученные размеры занести в таблицу П4.1 (Приложение 4).
  3. Г. Практическое приложение теории: финансовый кризис в России
  4. Глава седьмая. ПРИЛОЖЕНИЕ БИОЛОГИЧЕСКИХ ЗНАНИЙ К РАЗЛИЧНЫМ ОБЛАСТЯМ СОЦИАЛЬНО-ПОЛИТИЧЕСКОЙ ЖИЗНИ
  5. Д) приложение к бухгалтерскому балансу форма № 5.
  6. ИНФОРМАЦИОННОЕ ПРИЛОЖЕНИЕ 1
  7. пар. 62-Приложение (Р.Ингарден)
  8. Приложение
  9. ПРИЛОЖЕНИЕ
  10. ПРИЛОЖЕНИЕ
  11. ПРИЛОЖЕНИЕ
  12. Приложение

 

Таблица 1 - Составы травителей для химического полирования подложек кремния и германия.

 

Материал Состав травителя Температура, оС Скорость травления мкм/мин Примечание
         
Кремний HNO3(65%-ный р-р)–3 об. ч., HF (48% ный р-р) – 1 об. ч. Комнатная – Полирующий травитель
HNO3 (65%-ный р-р) – 5 об. ч., HF (48%-ный р-р) – 3 об. ч., СН3СООН (98%-ный р-р) –3 об. ч. То же – –
HNO3 (конц.)–180мл, HF(конц.)– 250 мл, СH3СООН (конц.)–50 мл, Br2-1мл, Н2О-100 мл, Сu(NО3)-10 г. То же – –
Na2Cr2О7 (0.6%-ный р-р) 7 об. ч., НF (конц.) – 20 об. ч., HNO3 (конц.) – 30 об. ч. То же 184.5 –
HNO3 (конц.) – 400 мл, HF (конц.) – 10 мл, AgNO3 – 0.4 г, Н2О – 10 мл, пропиленгликоль -200 мл То же 0.1  
Германий HNO3 (конц.) – 100 мл, HF (конц.) – 50 мл, СН3СООН (конц.) – 110 мл, Z2 – 0,3 г. Комнатная     Применяется для травления плоскости (100)
НNO3 (конц.) – 25 об.ч., HF (конц.) – 15 об. ч., СН3СООН (конц.) – 15 об. ч., Br2 – 0,3 об. ч. То же 30-50 –
  HNO3 (конц.) – 5 об. ч, HF(конц.) – 3 об. ч., СН3СООН (конц.) – 3 об. ч. То же   –
Германий Н2O2 (30%-ный р-р) – 2 об. ч., HF (48%-ный р-р – 1 об. ч. Комнатная   8.5 –
  HNO3 (конц) – 600 мл, СН3СООН (конц.) – 300 мл, HF (конц) – 100 мл, KI – 25 мг – " – 1.2 –
  Н2О2 (30 %-ный р-р) – 1 об.ч., HF (конц.) – 1 об. ч., Н2О – 4 об. ч. – " – – –
  HF (48%-ный р-р)   80-90 нм/мин –
Германий HNO3 (конц.) – 500 мл, щавелевая кислота – 47 г, Н2О – 500 мл.   0.8 –
  НCl (конц.) – 700 мл, HNO3 (конц.) ­– 100 мл, СН3СООН (конц.) – 200 мл   1.5 –
  NaOCl (10%-ный р-р) – 1 об. ч., Н2О ­– 40 об. ч.   – –
  HNO3 (конц.) – 4 об. ч., HF (конц), СН3СООН (конц.) – 15 об. ч. То же   –
  HNO3 (конц.) – 300 мл, HF (конц.) – 300 мл, Н2О – 400 мл, Нg (NO3)2 – 13,3 г. То же – –
  HNO3 (конц.) – 1 об.ч., HF(конц.) – 2 об. ч., Сu(NO3)2 (10%-ный р-р) – 1 об. ч. То же   Для травления плоскостей (100), (111)
Германий HNO3 (конц.) – 500 мл, щавелевая кислота – 47 г, Н2О – 500 мл.   0.8 –
Германий НCl (конц.) – 700 мл, HNO3 (конц.) ­– 100 мл, СН3СООН (конц.) – 200 мл   1.5 –
  NaOCl (10%-ный р-р) – 1 об.ч., Н2О ­– 40 об.ч.   – –    
         
Двуокись кремния        
NH4F – 200 г, HF (конц.) – 50 мл, Н2О – 300 мл – " – – –
NH4F – 1 мас.ч., Н2О – 1.5 мас.ч. – " – – –
Нитрид кремния Н3РО4 (конц.)   10 нм/мин –
HF (48%-ный р-р)   80-90 нм/мин –
  Концентрация реагентов ОСЧ, %: HNO3 –70 ¸72; HF – 45 ¸ 49; СН3СООН – 99.8 (ледяная); Н3РО4 – 85 ¸ 88; HCl – 35 ¸38; HClO4 – 57; H2SO4 – 93 – 96; H2O2 – 30, NH4OH – 25.        

 

 

Таблица 2 - Составы травителей для химического полирования подложек типа АIIIВY

 

Мате- риал Состав травителя Темпе- ратура, оС Скорость полирова- ния мкм/мин Качество поверхности, высота микронеровностей Rz, мкм
         
GaAs (арсенид галлия) H2SO4 – 3 об.ч., Н2О2 – 1 об.ч., Н2О – 1 об.ч.   8-10 Зеркальная; 0.02
  Н2SO4 – 4 об.ч., Н2О2 – 1 об.ч., Н2О – 1 об.ч.   1.5 – '' –
  H2SO4 – 5 об.ч., Н2О2 – 1 об.ч., H2O – 1 об.ч   1.0 –'' –
  H2SO4 – 7 об.ч., Н2О2 – 1 об.ч., Н2О – 1 об.ч.   0.8 – ''–
  H2SO4 –18 об.ч., Н2О2 – 1 об.ч., Н2О – 1 об.ч.   0.2 – " –
  Н2SO4 – 1 об.ч., Н2О2 – 1 об.ч., H2O – 100 об.ч.   0.03 Зеркальная; 0.04
  Br2 – 2 об.%, СН3ОН – 98 об.%     Зеркальная; 0.03
  Br – 5 об.%, СН3ОН – 95 об.%     – " –
  K3 [[Fe(CN)6] –329 г, КОН –17 г, Н2О – 1000 мл     Зеркальная; 0.05
  К3 [Fe (CN)6] – 428 г, КОН – 28 г, Н2О – 1000 мл     – " –
GaAs   HNO3 – 3 об.ч., HF – 1 об.ч., Н2О – 2 об.ч.     Поверхность типа "апельси- новой корки"
  HNO3 – 1 об.ч., HF – 5 об.ч.     Волнистая; 0.05-0.06
  HNO3 – 1 об.ч., HF – 4 об.ч., H2O – 2 об.ч.     Небольшие ямки, бугор- ки; 0.06
  HNO3 – 2 об.ч., Н3РО4 – 14 об.ч., Н2SO4 – 11 об.ч., Н2О – 3 об.ч.     Зеркальная; не более 0.09
  KOH (20 %-ный р-р) – 5 об.ч., Н2О2 – 1 об.ч.     Зеркальная; не более 0.09
         
GaAs Br2 – 1 об.%, СН3СООН – 99 об.%     Слегка волнистая; 0,08
  Br2 – 20 об.ч., CH3COOH – 80 об%     " – "
InAs (арсенид индия) Br2 – 1.5 об.%, СН3ОН – 98.5 об.%     Зеркальная, <0.02
InAs Br2 – 2 об.%, СH3H – 98 об.%     " – "
  HNO3 – 1.5 об.ч., HF – 1 об.ч., H2SO4 – 1 об.ч.     Зеркальная; <0.02
  HNO3 – 7 об.ч., HF – 1 об.ч., H2SO4 – 1 об.ч.     – " –
InAs   HNO3 – 1.3 об.ч.; HF – 1 об.ч., Н2О – 2 об.ч.   2.5 Зеркальная; 0.06
  H2O2 – 14 об.ч., НF – 1 об.ч., 20 об.ч.     Зеркальная; 0.07
  HNO3 – 10 об.ч., НF – 1 об.ч., СН3СOOH – 10 об.ч., Н2О – 3 об.ч., 3 об.ч.     Зеркальная, небольшие ямки трав- ления; 0.06
  HNO3 – 10 об.ч., HF – 1 об.ч., СН3СООН – 20 об.ч., Н2О – 5 об.ч., 5 об.ч       – " –  
  Br2 – 1 об.ч., этиленгликоль – 10 об.ч.     Зеркальная: <0.05
GaSb (антимо- нид галлия) HNO3 – 3 об.ч., HF – 1 об.ч., H2О – 2 об.ч.   1.5–3 Зеркальная: <0.08
  Н2О2 – 4 об.ч., HF – 1об.ч., Н2О – 15 об.ч.   1–4 – " –
  Br2 – 1 об.ч., этиленгликоль – 10 об.ч.,     Зеркальная; < 0.06
  Н2О2 – 14 об.ч., HF – 1 об.ч.   15-20 – " –
InSb ан- тимонид индия) HNO3 – 10 об.ч., HF – 1 об.ч., СН3СООН – 20 об.ч...     Зеркальная; < 0.03
  Н2О2 – 14 об.ч., HF – 1 об.ч., C4H6O6 – 20 об.ч.     Зеркальная; < 0.03
  НNO3 – 1 об.ч., HF – 1 об.ч., Н2О2 – 7 об.ч., 20 об.ч.   5-7 Зеркальная; < 0.06
GaP (фосфид галлия) К3[Fe(CN6) – 263 г, КОН – 73 г, Н2О – 1000 мл     Зеркальная; < 0.03
  К3 [Fe(CN)6 – 329 г, КОН – 73г, Н2О – 1000 мл     – " –
  Cl2 – 7.3 г, H2O – 1000 мл   0.3-0.5 Зеркальная
  H2SO4 – 1 об.ч., Н2О2 – 1 об.ч., HF – 2 об.ч.   5-6 Волнистая зеркальная, ямки травления
  H2SO4 – 3 об.ч., Н2О2 – 2 об.ч., HF – 2 об.ч.     – " –
  НNO3 – 1 об.ч., HCl – 3 об.ч.   12-13 – " –
InP (фосфид индия) Br2 – 0.8 об.%, СН3ОН – 99.2 об.%     Зеркальная; 0.03
  Br2 – 1.5 об.%, СН3ОН – 98.5 об.%     То же    
         
    HNO3 – 3 об.ч., НСl – 1 об.ч.     Зеркальная, имеются бугорки, точки
  HNO3 – 3 об.ч., HCl – 1 об.ч., СН3СООН – 1 об.ч., H2O – 1 об.ч.   3–6 Поверхность (100) InP зеркальная; <> 0.03 Поверхность (111) шероховатая серая
  HNO3 – 6 об.ч., HCl – 1 об.ч., НClO4 – 1 об.ч., CH3COOH – 1 об.ч.   2.5–3 Поверхность InP (100) зеркальная, не менее 0.06. Поверхность (111) шероховатая серая
    HNO3 – 3 об. ч., HCl – 1 об. ч., HClO4 – 3 об. ч., СH3COOH – 2 об. ч.   3-4 Поверхность (100) зеркальная, не менее 0.06 Поверхность (111) шероховатая Серая
  Н2О – 1 об. ч.; НCl – 2 об. ч., СН3СООН – 1 об. ч.   3-5 Зеркальная; 0.08
  Концентрация реагентов ОСЧ, %: HNO3 –70 ¸72; HF – 45 ¸ 49; СН3СООН – 99.8 (ледяная); Н3РО4 – 85 ¸ 88; HCl – 35 ¸38; HClO4 – 57; H2SO4 – 93 – 96; H2O2 – 30, NH4OH – 25.        

 

 

Таблица 3.

Составы травителей для химического травления пленок металлов и сплавов

 

Материал Состав травителя Температура, оС Скорость травления мкм/мин Примечание
         
Алюминий NaOH – 100 г, NaCl – 200 г, H2O –1 л      
  NaOH – 20 г, NaNO3 – 84.5, H2O – 1 л      
  HF – (40 %-ный р-р) – 10 об. ч, HNO3 (65%-ный р-р) – 10 об. ч., Н2О – 80 об. ч. 60-70    
  HNO3 (65%-ный р-р) – 13 мас. ч., NH4F×HF – 16 мас.ч., Н2О – 71 мас.ч. 60-70    
  NH4F×HF – 1.5–3.5 г, Н3ВО3-10-100 г, HNO3 (65%-ный р-р) – 2-5 г, Н2О – 900-950 г 70-90   Получение зеркальной поверхности
  H3PO4 – 50%-ный р-р      
  H3PO4 (90%-ный р-р) – 60¸80 об.% HNO3 (65%-ный р-р) – 10¸30 об.% СH3COOH (98%-ный р-р) – 10¸30 об.% комнатная    
  H3PO4 (90%-ный р-р) – 85 об.%, HNO3 (65%-ный р-р) – 2¸5 об.% Н2О – 10¸13 об.% 80-100    
         
Алюминий CuSO4 ´ 5 Н2О – 500 г, NaCl –200 г, HCl (36%-ный р-р) – 125 г, Н2O – 1 л      
  HNO3 (65%-ный р-р) – 250 мл, HF (40%-ный р-р) – 150 мл, CH3COOH (98%-ный р-р) – 150 мл, КВr-3 г      
         
Серебро СrO3 – 20 г, H2SO4 (96%-ный р-р) – 10 мл, Н2О – 1 л 55-60    
  NaCN – 4 г, Н2О – 1 л      
  КCN – 1 г, Н2О – 1 л      
  HNO3 (65%-ный р-р) – 500 мл, Н2О – 500 мл      
  HNO3 (65%-ный р-р) – 550 мл, глицерин – 450 мл      
  КI – 400 г, I2 – 100 г, Н2О – 400 мл      
  Na2S2O3 (10%-ный р-р) – 1 об.ч., К3 [Fe (CN)6] (10%-ный р-р) – 1 об.ч., СS (NH2) (10%-ный р-р) – 1 об.ч.      
Хром Н2SO4 (96%-ный р-р) – 1 об.ч., Н2О – 1 об.ч. 110-120   Присутствие Аl
  HCl (36%-ный р-р) – 1 л ПАВ (50 г неионогенного ПАВ в 3 л Н2О) – 10 г комнатная   Присутствие Al
  К3 [Fe (CN)6] – 75 г, NaOH – 9 г, Н2О – 900 мл      
         
  AlCl3 ´ 6 H2O – 454 г, ZnCl2 – 135 г, Н3PO4 (96%-ный р-р) – 30 мл, Н2О – 400 мл      
  Na (SO4)2 – 10 г, НNO3 (65%-ный р-р) – 100 мл, Н2О – 900 мл      
Сплавы хрома с никелем Fe(Cl3) (50%-ный р-р) – 2 об.ч., HCl– 1 об.ч. HNO3 (65%-ный р-р) – 1 об.ч., HCl (36%-ный р-р) – 1 об.ч., Н2О – 3 об.ч.      
Титан HF (48%-ный р-р) – 900 мл, Н2О – 100 мл     Задача состоит в создании водного травителя, который при травлении не выделял бы газов. В связи с этим в композиции вводят сильный окислитель (КМпО4)
Титан HF (48%-ный р-р) – 200 мл, HNO3 (65% -ный р-р) – 200 мл, глицерин – 600 мл      
Титан H3РО4 (85% -ный р-р) – 1 об.ч., Н2О – 0.5 об.ч.      
Титан NH4ОН (35%-ный р-р) – 350 мл, Н2О2 (30%-ный р-р) – 350 мл, Н2О – 300 мл      
Титан H2SO4 (96%-ный р-р) – 600 мл, Н2О – 400 мл NaNO2 – 5 г      
Титан HF (40%-ный р-р) – 1 об.ч., HNO3 (65%-ный р-р) – 2 об.ч., H2SO4 (96%-ный р-р) – 2 об.ч      
Титан HNO3 – 400 мл, H2O – 600 мл, NH4F – 1.7 г      
Молибден HNO3 (65%-ный р-р) – 0,5 л, HF – 5 мл, Н2О – 0,5 л      
Молибден HNO3 (65%-ный р-р) – 2 об.ч., H2SO4 (96%-ный р-р) 1 об.ч., Н2О – 30 об.ч      
Молибден HNO3 (65%-ный р-р) – 50 об.ч., HCl (36%-ный р-р) – 5 об.ч., Н2О – 45 об.ч.      
Молибден KNO3 – 320 г, NaNO2 – 320 г, NaOH – 50г, Na2CO3 – 5 г, H2O – 4 л      
Молибден NaOH – 100 г, К3 [Fe(CN)6] – 100 г, Н2О – 1 л      
Вольфрам HF (40-ный р-р) – 1 об.ч., HNO3 (65%-ный р-р) – 1 об.ч.      
Тантал NaF – 10 г, HNO3 (65%) – 100 мл      
Тантал HF (40%) – 200 г, HNO3(65%-ный р-р) – 500 г, СH3COOH – 100 г      
         
  Тантал   HF (40%-ный р-р) – 100 мл, NH4F – 100 г, Н2О – 500 мл      
Тантал HF (40 %-ный р-р) – 50 г, H2SO4 (96%-ный р-р) – 800 г, Н2О – 150 мл      
Ниобий HNO3 (65%-ный р-р) – 1 об.ч., HF (40%-ный р-р) – 1 об.ч.      
Никель HNO3(30-50%-ный р-р)     Этот состав позволяет удалять NiC
Никель HNO3 (65%-ный р-р) – 180 г, H2SO4 (96%-ный р-р) – 140 г, NaCl – 90 г, NaNO3 – 60 г, H2O – 1 л      
Никель НСl (36 %-ный р-р)-450 мл, CrO3 -90 г, Н2О – 600 мл      
Никель NaOH – 0.2 – 2.0 моль/l, арилалкилсульфонат Na 0,1-1 моль/l, полиамин – 0.1-3.0 моль/     Этот состав позволяет удалить NiC
  Концентрация реагентов ОСЧ, %: HNO3 –70 ¸72; HF – 45 ¸ 49; СН3СООН – 99.8 (ледяная); Н3РО4 – 85 ¸ 88; HCl – 35 ¸38; HClO4 – 57; H2SO4 – 93 – 96; H2O2 – 30, NH4OH – 25.        

 


1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 |

Поиск по сайту:

Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав. Студалл.Орг (0.005 сек.)