АвтоАвтоматизацияАрхитектураАстрономияАудитБиологияБухгалтерияВоенное делоГенетикаГеографияГеологияГосударствоДомДругоеЖурналистика и СМИИзобретательствоИностранные языкиИнформатикаИскусствоИсторияКомпьютерыКулинарияКультураЛексикологияЛитератураЛогикаМаркетингМатематикаМашиностроениеМедицинаМенеджментМеталлы и СваркаМеханикаМузыкаНаселениеОбразованиеОхрана безопасности жизниОхрана ТрудаПедагогикаПолитикаПравоПриборостроениеПрограммированиеПроизводствоПромышленностьПсихологияРадиоРегилияСвязьСоциологияСпортСтандартизацияСтроительствоТехнологииТорговляТуризмФизикаФизиологияФилософияФинансыХимияХозяйствоЦеннообразованиеЧерчениеЭкологияЭконометрикаЭкономикаЭлектроникаЮриспунденкция

Проанализируйте технологию изготовления структур МДП ИМС с фиксированными затворами

Читайте также:
  1. II. Общие принципы построения и функционирования современных бизнес-структур
  2. II. СТРУКТУРА КВАЛИФИКАЦИОННОЙ РАБОТЫ
  3. II. Требования к структуре образовательной программы дошкольного образования и ее объему
  4. III. СТРУКТУРА И ПОРЯДОК ФОРМИРОВАНИЯ СТУДЕНЧЕСКОГО СОВЕТА
  5. III. Структура Клуба
  6. III. СТРУКТУРА, РУКОВОДЯЩИЕ И КОНТРОЛЬНЫЕ ОРГАНЫ КПРФ
  7. IV. ОРГАНИЗАЦИОННАЯ СТРУКТУРА ПРОФСОЮЗА
  8. IY. ОРГАНИЗАЦИОННАЯ СТРУКТУРА И ОРГАНЫ УПРАВЛЕНИЯ КЛУБА
  9. VI. ОРГАНИЗАЦИОННАЯ СТРУКТУРА ПАРТИИ.
  10. А) структура текстів драм
  11. аблица 10. Строение клетки. Структурная система цитоплазмы
  12. Активные операции коммерческих банков, их структура.

Технология изготовления МДП-ИМС на транзисторах с фиксированным затвором основана на том, что после создания толстого окисла и вскрытия окон в нем под активные области выращивают тонкий окисел под затвор, формируют затвор необходимых конфигураций и размеров, а затем формируют области истока и стока. При этом материал затвора служит маской, и тем самым осуществляется процесс самосовмещения затвора

Существует два направления создания МДП-ИМС с фиксированным затвором: диффузия с использованием затвора из кремния или молибдена и ионное легирование с использованием металлического затвора.

 

1. На подложке с проводимостью n – типа выращивают защитный слой оксида кремния (SiO2) и с помощью фотолитографии вскрывают окна для создания истока, стока и слоя подзатворного диэлектрика.

2. Выращивают тонкий слой подзатворного диэлектрика

3. Выращивают поликристаллический кремний

4. Создают окна с помощью фотолитографии под исток и сток.

5. Напыление алюминия для создания контактов.

45.Приведите пример изготовления МДП ИМС с металлическими затворами с помощью ионной имплантации.

Ионное легирование в технологии МДП-ИМС применяют в двух целях: 1) для самосовмещения затвора с диффузионными областями; 2) для получения МДП – транзисторов, работающих в режиме обеднения с низким пороговым напряжением. В первом случае для изготовления МДП-ИМС используют комбинированную диффузионную технологию. Согласно этой технологии основные этапы формирования структуры осуществляют по обычной технологии; при этом области затвора и стока создают диффузионным способом до выращивания окисла. Ионное легирование применяют на последней стадии изготовления ИМС, когда создается «встроенный» канал в промежутке между областью стока и металлом затвора, сдвинутое в сторону истока; при этом достигается самосовмещение затвора. Во втором случае ионное легирование также используют на последней стадии изготовления ИМС, когда МДП – структуры уже сформированы. При этом часть структуры подвергают ионному легированию, с помощью которого между p+-областями истока и стока формируется встроенный канал р - типа. Это позволяет получать транзисторы, работающие в режиме обеднения, которые служат в качестве нагрузочных элементов.


1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 | 8 | 9 | 10 | 11 | 12 | 13 | 14 | 15 | 16 | 17 | 18 | 19 | 20 | 21 | 22 | 23 | 24 | 25 | 26 | 27 | 28 | 29 |

Поиск по сайту:



Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав. Студалл.Орг (0.003 сек.)