Классификация насосов по конструктивному признаку

Механические;Поршневые (в том числе ртутно-поршневые);Диафрагменные; Пластинчато-роторные (в том числе водокольцевые)Винтовые;Рутса;Золотниковые;Спиральные;Магниторазрядные;Струйные;Паромасленные диффузионные; Паромасленные бустерные; Сорбционные; Криогенные;

Предельное давление насоса p_пр - это минимальное давление, которое может обеспечить насос, работая без откачиваемого объекта. Логично заметить, что быстрота действия насоса при приближении к предельному давлению стремиться к нулю. Предельное давление большинства вакуумных насосов определяется газовыделением материалов, из которых изготовлен насос, перетеканием газов через зазоры и другими явлениями, возникающими в процессе откачки.
Наименьшее рабочее давление вакуумного насоса p_м - это минимальное давление, при котором давление длительное время сохраняет номинальную быстроту действия. Наименьшее рабочее давление примерно не порядок выше предельного давления. Использование насоса для работы при давлениях между предельным и наименьшим рабочим экономически не выгодно из-за ухудшения его удельных характеристик.
Наибольшее рабочее давление вакуумного насоса p_б - это максимальное давление, при котором насос длительное время сохраняет номинальную быстроту действия. В рабочем диапазоне от наименьшего о наибольшего рабочего давления обеспечивается эффективное применение насоса для откачивания вакуумных установок. Рабочие диапазоны давлений вакуумных насосов в основном определяются их принципом действия.
Давление запуска вакуумного насоса p_з - максимальное давление во входном сечении насоса, при котором он может начать работу. Давление запуска обычно заметно превышает наибольшее рабочее давление. Для некоторых типов насосов, к примеру, магниторазрядных, это различие может достигать 2-3порядков. Наибольшее выпускное давление p_В - максимальное давление в выходном сечении насосы, при котором он может осуществлять откачку. Этот параметр не используется для некоторых типов сорбционных насосов, поглощающих газ в объёме насоса.
Параметры вакуумных насосов показаны на основной характеристике вакуумного насоса – зависимости быстроты действия от его входного давления (рис. 2). Экспериментальное определение основной характеристики вакуумного насоса может осуществляться двумя методами: стационарным методом постоянного давления и квазистационарным методом постоянного объёма.

27)Магнитные электроразрядные насосы. Сверхвысоковакуумные магнитные электроразрядные насосы являются эффективным средством создания высокого и сверхвысокого вакуума. Их применяют для безмасляной откачки вакуумных камер. В основе работы магниторазрядного насоса лежит поглощение газов титаном, распыляемым при высоковольтном разряде в магнитном поле. Для зажигания самостоятельного разряда в трубке с холодным катодом при давлении ниже 10^-3 мм рт. ст. требуется очень высокое напряжение.При таком давлении длина свободного пробега электрона велика, и он уходит на анод, не испытав соударений с частицами остаточного газа. Чтобы удлинить путь электрона, не увеличивая расстояние между электродами, предложено специальное расположение электродов во внешнем магнитном поле, так называемая ячейка Пеннинга. Два холодных катодных диска располагают симметрично по обе стороны анода, а вдоль оси системы направляется магнитный поток от внешних магнитов (рис. 367). Проходя через полый анод, электроны начинают колебаться между катодами и под влиянием магнитного поля движутся по циклоидам, сталкиваясь с молекулами остаточного газа, что приводит к возникновению газового разряда. Одиночная разрядная ячейка образована двумя титановыми катодными пластинами и анодом из коррозионностойкой стали. При подаче на электроды разрядной ячейки высокого напряжения в ячейке возникает газовый разряд в широкой области низких давлений. Образующиеся в разряде положительные ионы газа ускоряются электрическим полем и внедряются в катоды, одновременно материал катода (титан) распыляется и осаждается на аноде и стенках насоса.Эффективность откачки насоса определяется внедрением ионов газа в материал катода (ионная откачка) и поглощением газов распыленным титаном (сорбционная откачка). Магниторазрядные насосы НЭМ и НОРД отечественного производства содержат десятки и сотни разрядных ячеек, объединенных в электродные блоки. Блоки помещены в корпус из коррозионностойкой стали. Магнитное поле напряженностью 700 э создается оксидно-бариевыми магнитами, расположенными с внешней стороны корпуса. В насосах НЭМ на анод подается положительный по отношению к катодам потенциал; в насосах НОРД подается отрицательный по отношению к аноду потенциал на катоды. К достоинствам магниторазрядных насосов следует отнести постоянную объемную скорость откачки в широком диапазоне давлений, отсутствие движущихся частей и бесшумную работу, отсутствие горячего катода, надежность, отсутствие рабочих жидкостей и возможность получения чистого спектра остаточных газов, не загрязненного парами масел.

Магниторазрядные насосы откачивают различные газы с разной скоростью. Ниже указаны относительные скорости откачки различных газов (в %): Насосы позволяют оценивать давление в системе по разрядному току. Предельное давление 10^-10 мм рт. ст. Запуск насосов НЭМ можно производить при давлении —10^-2 мм рт. ст. Насосы не могут длительное время работать при давлении 1 • 10^-5мм рт. ст. из-за перегрева электродов. Насосы НЭМ производительностью 30, 100 и 300 л/с имеют цельносварной корпус из коррозионностойкой стали, внутри которого размещены один, четыре или восемь разрядных электродных блоков. Съемные магнитные системы расположены с внешней стороны корпуса насоса. Разрядный электродный блок состоит из двух анодных решеток (сталь Х18Н10Т) и трех титановых катодов (титан ВТ 1-1), собранных на керамических изоляторах. На рис. 368 показан насос НЭМ-300-1, на рис. 369 — схемы магнитных систем насосов.

Поиск по сайту: