|
|||||||
АвтоАвтоматизацияАрхитектураАстрономияАудитБиологияБухгалтерияВоенное делоГенетикаГеографияГеологияГосударствоДомДругоеЖурналистика и СМИИзобретательствоИностранные языкиИнформатикаИскусствоИсторияКомпьютерыКулинарияКультураЛексикологияЛитератураЛогикаМаркетингМатематикаМашиностроениеМедицинаМенеджментМеталлы и СваркаМеханикаМузыкаНаселениеОбразованиеОхрана безопасности жизниОхрана ТрудаПедагогикаПолитикаПравоПриборостроениеПрограммированиеПроизводствоПромышленностьПсихологияРадиоРегилияСвязьСоциологияСпортСтандартизацияСтроительствоТехнологииТорговляТуризмФизикаФизиологияФилософияФинансыХимияХозяйствоЦеннообразованиеЧерчениеЭкологияЭконометрикаЭкономикаЭлектроникаЮриспунденкция |
Расчёт вакуумной системыМосковский Инженерно-Физический Институт (Государственный Университет) Кафедра №10 Курсовая работа по курсу «Введение в технику физического эксперимента» Выполнили студенты гр. Ф5-03: Фролов А. С. Фролов И. С. Царьков С.Е. Принял: Иванов В. П. Подпись: Дата: Москва 2003 Условие задачи. В камере лазерного источника ионов, изображённого на рисунке, поддерживается давление p 1. Образующиеся ионы через отверстие d диафрагмы поступают в камеру анализатора времяпролётного масс-спектрометра, давление в котором p 2. Частота следования лазерных импульсов – 100 Гц. Диаметр кратера – 1 мкм. Глубина кратера от одного импульса – 2 мкм. В веществе образца растворено 10% газа от объёма. Оснастить устройство необходимым вакуумным оборудованием и определить время откачки устройства до рабочих давлений, если поток натекания газа в камеру источника через шлюзовую камеру составляет Q.
Параметры установки: p 1 = 10-3 Па; p 2 = 10-7 мм рт. ст.; d = 1 мм; Q = 10-5 м3*Па/с. Материал образца – медь.
Расчёт вакуумной системы Определим режим течения газа через отверстие. Для этого оценим число Кнудсена. Kn = l/Lэф Kn = 6.7*10-3 / p * d = 6.7*10-3 / (10-3 * 10-3) = 6.7*10-3 >> 1 Согласно оценке числа Кнудсена, делаем вывод, что реализуется молекулярный режим течения. Для молекулярного режима течения имеем следующую проводимость круглого отверстия: U = 91 * d 2 = 91*10-6 м3/с Поток через отверстие: Q отв = U * p 1 = 9.1*10-8
Рассчитаем поток газа из образца. r = 8,93*103 кг/м3 m = 63,5 г/моль Объём, приходящийся одну молекулу в образце: V0 = m / (r * NA) = 63.5*10-3 / (8.93*103 * 6.02*1023) = 1.18*10-29 м3 Количество молекул газа, вылетающих за один импульс: Nг = 0.1 * p * dкр * hкр / (4 * V0) = 1.33*1010 Т. к. частота импульсов n = 100 Гц => количество молекул газа, вылетающих за секунду qобр = Nг * n = 1.33*1012 c-1 Применим основное уравнение молекулярно-кинетической теории, для единичного объёма: Q обр = Nг * k * T = 1,33*1012 * 1,38*10-23 * 300 = 2,76 * 10-9 м3*Па/с
Из выше посчитанного делаем вывод: Q отв << Q Q обр << Q Отсюда следует, что: Натечка в камеру источника: Q 1 = Q + Q обр – Q отв» Q = 10-5 м3*Па/с Натечка в камеру анализатора: Q 2 = Q отв = 9,1*10-8 м3*Па/с
Поиск по сайту: |
Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав. Студалл.Орг (0.003 сек.) |