Измерение удельного сопротивления четырехзондовым методом
Наиболее распространённый метод контроля качества проводящих материалов. Не требует создания омических контактов. Позволяет измерить удельное сопротивление объёмных образцов самой разнообразной формы и размеров, а также тонки слоёв. Главное условие проведения измерения – наличие плоского участка поверхности с размерами большими размеров зондовой системы. Диапазон измерений 10-3-104 Ом*см.
Возможно 2 варианта схемы измерения – зонды расположены в ряд и зонды образуют квадрат.
Зонды расположены в ряд
Через пару контактов (чаще всего 1 и 4) пропускают ток, а между двумя другими (2 и 3) измеряют напряжение. Расстояние между зондами делают равными, для упрощения подсчёта удельного сопротивления
Зонды образуют квадрат
Сторона квадрата s. Ток пропускают через зонды образующие одну из сторон квадрата, а разность потенциалов измеряют на другой паре зондов. Удельное сопротивление в этом случае
Коммутируя направление тока последовательно через каждую пару контактов по контуру квадрата и усредняя четыре полученных значения удельного сопротивления, можно снизить уровень случайной погрешности в 2 раза. Приведенные формулы справедливы только для полубесконечного образца, поэтому в общем случае в формулы вводят поправочные коэффициенты, учитывающие геометрические размеры образца.
1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 | 8 | 9 | 10 | 11 | 12 | 13 | 14 | 15 | 16 | 17 | Поиск по сайту:
|