Методы измерения удельного сопротивления. Условия приприменимое методом Ван-дер-Пау
Применим для определения удельного сопротивления плоских образцов произвольной формы, тонки плёночных слоёв. Диапазон измерений 10-4 – 103 Ом*см.
Схема измерения
На периферии плоского образца толщиной d создают 4 точечных омических контакта A, B, C, D. Сначала через пару контактов А и В пропускают ток и измеряют разность потенциалов между парой CD, затем пропускают ток через BC и измеряют разность потенциалов на DA. Рассчитывают два значения сопротивления
RABCD=UCD/IABи RBCDA=UDA/IBC
Удельное сопротивление рассчитывают по формуле
f – функция поправок, которое можно узнать в справочной литературе. Или рассчитать приблизительно:
Для уменьшения погрешности измерений используют образцы специальной формы – клеверного креста и греческого креста.
1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 | 8 | 9 | 10 | 11 | 12 | 13 | 14 | 15 | 16 | 17 | Поиск по сайту:
|