АвтоАвтоматизацияАрхитектураАстрономияАудитБиологияБухгалтерияВоенное делоГенетикаГеографияГеологияГосударствоДомДругоеЖурналистика и СМИИзобретательствоИностранные языкиИнформатикаИскусствоИсторияКомпьютерыКулинарияКультураЛексикологияЛитератураЛогикаМаркетингМатематикаМашиностроениеМедицинаМенеджментМеталлы и СваркаМеханикаМузыкаНаселениеОбразованиеОхрана безопасности жизниОхрана ТрудаПедагогикаПолитикаПравоПриборостроениеПрограммированиеПроизводствоПромышленностьПсихологияРадиоРегилияСвязьСоциологияСпортСтандартизацияСтроительствоТехнологииТорговляТуризмФизикаФизиологияФилософияФинансыХимияХозяйствоЦеннообразованиеЧерчениеЭкологияЭконометрикаЭкономикаЭлектроникаЮриспунденкция

Сущность ионного распыления

Читайте также:
  1. Oттo — наследник миллионного состояния?
  2. Алкоголизм как результат воздействия информационного вируса.
  3. Анкета для оценки инновационного потенциала предприятия.
  4. Аппаратура сорбционного цианирования
  5. Библиотековедение и дисциплины библиотечно-библиографического и информационного цикла
  6. Библия – как средство информационного оружия и управления.
  7. БЛОК ВТОРОЙ. Торжество идей революционного переустройства российского общества (ноябрь 1917 – март 1921гг)
  8. БОЕВОЙ СОСТАВ ИТАЛЬЯНСКОГО ЭКСПЕДИЦИОННОГО КОРПУСА В РОССИИ НА 1 АВГУСТА 1941 ГОДА
  9. В чем же преимущества дистанционного обучения?
  10. Вера — сущность откровения, а не доказательства
  11. Взаимосвязь архивного и информационного права
  12. Внедрение комплексных систем автоматизации документационного обеспечения управления

Ионная очистка (ионное распыление (ИР), ионное травление) — удаление вещества с поверхности твёрдого тела под действием ионной бомбардировки. Процесс ИР зависит от интенсивности пучка, вида, энергии, и угла падения ионов, а также от материала и состояния мишени. В процессе ИР, вследствие физического распыления, дефектообразования, имплантации ионов и атомов отдачи, меняются элементарный состав и структура поверхности: происходит обогащение поверхности определённым элементом, кристаллизация или аморфизация поверхностного рельефа при ИР включает несколько стадий:

 

1. возникновение дефектов (вакансий, межузельных атомов, дислокаций)

2. появление микроскопических неоднородностей размерами 10-100 нм [ямки травления, конические или пирамидальные выступы];

3. образование неоднородностей макроскопических размеров порядка долей мкм.

ИР может осуществляться с использованием тлеющего разряда, ускоренного потока ионов или ускоренного потока нейтральных частиц. При этом происходит очистка поверхности подложки вследствие следующих физических процессов:

• десорбции загрязнений, происходящей под ударами ионов нейтральных частиц;

• фотодесорбции под действием ультрафиолетового излучения из ионного источника;

• термодесорбции загрязнений из-за нагрева подложки падающими частицами, а также рекомбинации на её поверхногсти;

• реакции органических загрязнений с химически активными газами [5],

• изменения структуры и фазового состава поверхности подложек под действием быстрых частиц.

ИР имеет ряд преимуществ перед химическими и термическими методами травления:

1) Распылением выявляется структура весьма твёрдых сплавов силицидов, карбидов, боридов, специальных сталей, которые не поддаются другим способам травления.

2) ИР является универсальным травителем, пригодным для всех твёрдых материалов.

 

3) В процессе ИР не образуются окисные и другие плёнки, не происходит загрязнение образца травителем и шлифовальными материалами.

4) Распылением легко выявляется структура металлов, нагретых до высокой температуры.

5) При ИР можно легко управлять глубиной распыления и определять энергию связи поверхностных атомов.

6) Имеется возможность для собирания протравленного вещества с целью его химического анализа Нет затруднений при радиоактивных веществ [5].

 

Рисунок 1 – Схема ионной установки

 


1 | 2 | 3 |

Поиск по сайту:

Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав. Студалл.Орг (0.003 сек.)