АвтоАвтоматизацияАрхитектураАстрономияАудитБиологияБухгалтерияВоенное делоГенетикаГеографияГеологияГосударствоДомДругоеЖурналистика и СМИИзобретательствоИностранные языкиИнформатикаИскусствоИсторияКомпьютерыКулинарияКультураЛексикологияЛитератураЛогикаМаркетингМатематикаМашиностроениеМедицинаМенеджментМеталлы и СваркаМеханикаМузыкаНаселениеОбразованиеОхрана безопасности жизниОхрана ТрудаПедагогикаПолитикаПравоПриборостроениеПрограммированиеПроизводствоПромышленностьПсихологияРадиоРегилияСвязьСоциологияСпортСтандартизацияСтроительствоТехнологииТорговляТуризмФизикаФизиологияФилософияФинансыХимияХозяйствоЦеннообразованиеЧерчениеЭкологияЭконометрикаЭкономикаЭлектроникаЮриспунденкция

Ионное распыление

Читайте также:
  1. Апелляционное и кассационное обжалование судебных решений, не вступивших в законную силу
  2. АТТЕСТАЦИОННОЕ ДЕЛО № ___________
  3. Больной поступил в инфекционное отделение с подозрением на холеру. Какой основной метод исследования необходимо использовать для подтверждения диагноза?
  4. В стоимость входит: экскурсионное и автобусное обслуживание, входные билеты по программе, завтрак
  5. Дисперсионное соотношение
  6. ДИСТАНЦИОННОЕ АВТОМАТИЧЕСКОЕ УПРАВЛЕНИЕ.
  7. Дистанционное обучение иностранным языкам
  8. Дистанционное участие
  9. Документационное обеспечение дипслужбы.
  10. Документационное обеспечение системы управления персоналом.
  11. Дореволюционное развитие институтов
  12. Екатеринбург, 3 октября, «Информационное агентство Екатеринбургской епархии».

ОТЧЕТ

по лабораторной работе №7

 

по курсу «Электротехнологические установки»

 

Ионное распыление материалов

 

ОГУ 140211.65.9413.027 О

 

 

Руководитель

__________В.Б. Шлейников

«___»______________2013г.

Исполнитель

студенты группы 10Э-2

_________И.Е. Скородумов

__________Д.И. Емельянов

«___»______________2013г.

 

Оренбург 2013


 

Лабораторная работа №7

Ионное распыление материалов. Получение тонких пленок распылением материалов ионной бомбардировкой.

 

Распыление – это явление передачи момента импульса от налетающей частицы частицам поверхности мишени с последующим отрывом атомов или молекул и переводом их в вакуум.

Методы подготовки поверхности перед нанесением покрытия

 

Необходимым условием обеспечения прочной адгезии является удаление всех видов загрязнений с поверхности подложки. Подложки на своей поверхности имеют сложный спектр загрязнений - органических и неорганических, включающие материалы, попадающие при шлифовании и полировании поверхности, различные адсорбционные вещества, частицы пыли, отпечатки пальцев и т.д. [4].

Для удаления больших количеств загрязнений с поверхности подложки, а также пыли и отпечатков пальцев может применяться механическая очистка, которая производится протиркой щёткой или тканью в моющем растворе. Эффективным способом очистки поверхности от всех видов загрязнений является химическое стравливание поверхностного слоя. Наибольшие сложности возникают при удалении органических загрязнений [6, 8].

Для повышения активности процесса химической очистки применяется нагревание и приложение ультразвуковых колебаний. Эффект очистки нагревом объясняется: А) термодесорбцией; Б) химическими реакциями с газами атмосферы, в результате которых образуются летучие соединения [4].

Ионное распыление

Традиционное жидкостная химическая обработка подложек является первой стадией очистки перед нанесением покрытий. А так как эта обработка сама оставляет загрязнения, то после неё используется ионно-плазменная очистка в условиях вакуума (ионное распыление). Ионное распыление является финишной очисткой перед процессами нанесения плёночных покрытий. Она представляет собой комплексную очистку, т.к. при произведении этой очистки на поверхности происходит несколько процессов очистки одновременно: физическое распыление, ионно-химическое и плазмохимическое травление, а также сопутствующая обработке термическая десорбция, что дозволяет получить максимально очищенную поверхность (подложку) и способствует получению высоко качественных, высокопрочных покрытий [5].

 

 


1 | 2 | 3 |

Поиск по сайту:

Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав. Студалл.Орг (0.003 сек.)