Травление в щелочном растворе хлорита натрия

Смесь из NaClO₂, NH₃, (NH₄)₂CO₃ или другой соли аммония и Н₂О при температуре 20 — 45°С растворяет медь, образуя комплексы.

Так как NH₃ достаточно летуч, то особое внимание уделяют поддер­жанию необходимого состоя­ния ванны для травления. Для вентиляции рабочих мест и поддержания чистоты на смежном обору­довании, тре­буются особые затраты. Время травления для слоя меди толщиной 35 мкм составляет 1 мин, но оно увеличивается с ростом содержания меди в растворе и при содержании меди 40 г/л со­ставляет уже 4 мин. Раствор полностью истощается при содержании меди 50 г/л Преиму­щество тра­вителя на основе щелочного раствора хлорита натрия за­ключается в возможности применения прак­тически всех защитных по­крытий Резисты трафаретной печати и фоторезисты не должны быть ще­лочеустойчивыми Регенерация отработанного раствора исключается; с помощью нейтрализации на основе НСl можно перевести медь в оса­док в виде карбоната или соли, соответствующих применяе­мому соеди­нению аммиака.

Процесс травления должен быть организован таким образом, чтобы возможное химическое воз­действие травителя на травящийся материал было использовано наиболее оптимально Травильные установки долж­ны выполнять следующие функции:

Рис.24. Принцип различных способов травления.

а — травление погружением; б — травление центри­фугированием; в — травление разбрызгиванием: 1— ванна; 2 — травитель; 3— заготовка; 4 — механизм движения; 5 —. крыльчатка; 6— транспортерзаготовок; 7 — система сопл; 8 — системаподачи травителя.

§ обеспечивать движения травителя или заготовки или же их совмест­ное движение;

§ создавать аэрацию травителя (оптимальное разбрызгивание);

§ обеспечивать температурную стабильность;

§ обеспечивать удаление травителя (в ряде случаев с регенерацией);

§ обеспечивать промывку, нейтрализацию и сушку заготовки;

§ обеспечивать непрерывный процесс при массовом производстве.

Различают травильные установки, в которых травление производит­ся погружением, центрифугированием и разбрыз­гиванием. Наиболее целесообразными являются травиль­ные установки с вертикальным разбрызги­ванием. На рис.24 приведена такая установка, в которой заготовки по­ме­щаются в держателе в виде выдвижной кассеты между верхними и нижним разбрызгивателями. Заготовка с по­мощью роликового транспортера с пе­ременной подачей перемещается в камеру для травления, после прохож­де­ния которой она попадает в камеры для нейтрализации и промывки. Такие линии могут содержать устройства для удаления защитной маски и сушки заготовок. Сопла располагаются таким образом, чтобы травитель разбрыз­гивался под давлением приблизительно 4 кгс/см² перпен­дикулярно поверхности заготовки. Для достижения равномерности травления осуществляют колебание струй с помощью соответствующего, движения держателей сопл.

Метод разбрызгивания обеспечивает самую большую скорость, травления. Благодаря этому и перпендикуляр­ному падению раствора подтравливание относительно мало

Особое внимание необходимо обратить на очистку заготовки от травителя. Благодаря интенсивной мно­гократной промывке, нейтрализации и сушке обеспечивают полное удаление остатков травителя. В про­тив­ном случае возможны коррозия и ухудшение электрических свойств.

Поиск по сайту: