АвтоАвтоматизацияАрхитектураАстрономияАудитБиологияБухгалтерияВоенное делоГенетикаГеографияГеологияГосударствоДомДругоеЖурналистика и СМИИзобретательствоИностранные языкиИнформатикаИскусствоИсторияКомпьютерыКулинарияКультураЛексикологияЛитератураЛогикаМаркетингМатематикаМашиностроениеМедицинаМенеджментМеталлы и СваркаМеханикаМузыкаНаселениеОбразованиеОхрана безопасности жизниОхрана ТрудаПедагогикаПолитикаПравоПриборостроениеПрограммированиеПроизводствоПромышленностьПсихологияРадиоРегилияСвязьСоциологияСпортСтандартизацияСтроительствоТехнологииТорговляТуризмФизикаФизиологияФилософияФинансыХимияХозяйствоЦеннообразованиеЧерчениеЭкологияЭконометрикаЭкономикаЭлектроникаЮриспунденкция

Травители и методы травления

Читайте также:
  1. II. Методы непрямого остеосинтеза.
  2. IV. Современные методы синтеза неорганических материалов с заданной структурой
  3. А. Механические методы
  4. Автоматизированные методы анализа устной речи
  5. Адаптивные методы прогнозирования
  6. АДМИНИСТРАТИВНО-ПРАВОВЫЕ МЕТОДЫ УПРАВЛЕНИЯ
  7. АДМИНИСТРАТИВНЫЕ МЕТОДЫ УПРАВЛЕНИЯ, ИХ СУЩНОСТЬ, ДОСТОИНСТВА И НЕДОСТАТКИ
  8. Административные, социально-психологические и воспитательные методы менеджмента
  9. Активные групповые методы
  10. Активные индивидуальные методы
  11. Акустические методы
  12. Акустические методы контроля

Эффективность процесса травления определяется реакциями диф­фузии, окисления и восстановле­ния, протекающими на границе фаз металл — раствор и в растворе. Ход этих реакций можно регулиро­вать поддержанием заданной температуры и состава травителя. Кроме того, необходимо принимать во внимание сложность рисунка ПП, толщину травящегося слоя, тип защитного покрытия (резистивный слой).

      Рис. 23 Подтравливание металли­ческих слоев.   1 - травитель; 2 - резист, 3 - диэлек­трик; 4 - металлический слой; 5м - толщина слоя ме­талла; Н- боковое подтравливание; f - фактор травления ( f= Sм / Н)   Большое влияние на качество оказывает скорость травления. Обыч­но для травления металлических слоев она составляет 10—50 мкм/мин. Так как трави­тель со временем истощается, то необходимо для за­гото­вок, время пребывания которых в растворе посто­янно, устанавливать минимальную скорость травления. Это приводит к увеличению времени травления и сильному боковому подтравливанию. Необходимое посто­янство состава травителя, а значит, малое время травления достига­ется применением устано­вок с непрерывной регенерацией раствора Качество травления характеризуется степенью бо­кового подтравливания слоя, покрытого резистом. Она возникает потому, что травитель после удаления металла с незащищенных мест действует парал­лельно поверхности заготовки. Степень бокового подтравливания определяется фактором травления, который равен отношению глу­бины травления в направлении, перпендикулярном поверхности заготовки к глубине бокового

травле­ния. При изготовлении ПП субтрактивным методом фактор травления достигает 2—4 (рис. 23).

Подтравливание можно учесть при изготовле-нии оригиналов за­щитных слоев. Кроме того, применяют образующиеся на травящемся металле ламинарные слои, сдерживающие действие тра-вителя.

Для травления меди и ее сплавов применяют травители на основе хлорида железа (III), пер­сульфата аммония, хлорида меди (II), хро­мовойкислоты, перекиси водорода и щелочного рас­твора хлорита нат­рия. При выборе того или иного травителя, наряду с имеющимися в на­личии ма­териалами, необходимо учитывать объем и техническую осна­щенность производства, экономич­ность и проблему сточных вод, воз­можности регенерации и извлечения меди.

 


1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 | 8 | 9 | 10 | 11 | 12 | 13 | 14 | 15 |


Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав. Студалл.Орг (0.005 сек.)